1. Cambra de buit
La cambra de buit és la part central de la màquina de recobriment de buit. La seva funció principal és crear un entorn de buit i mantenir el procés de recobriment en estat de buit. La cambra de buit sol estar feta de materials d'acer inoxidable o aliatge d'alumini, amb un alt segellat de buit i resistència a la corrosió.
2. Sistema de bombes
El sistema de bombes és un dels components clau de la màquina de recobriment de buit. És principalment responsable d’extreure el gas a la cambra de buit per aconseguir que el grau de buit assoleixi el grau requerit. El sistema de bomba es compon generalment de bombes moleculars, bombes mecàniques i bombes de difusió. Diferents combinacions de bombes poden aconseguir diferents graus de buit i velocitats de bombament.
3. Dispositiu de subjecció del substrat
El dispositiu de subjecció del substrat és un altre component important de la màquina de recobriment de buit. S'utilitza per arreglar el material del substrat per ser recobert i controlar la seva posició i la seva trajectòria de moviment. El dispositiu de subjecció del substrat sol estar compost per una taula rotativa, un mecanisme d’elevació i una pinça de substrat. Diferents pinces es poden adaptar a substrats de diferents formes i mides.
4. Sistema de calefacció
El sistema de calefacció és un component necessari a la màquina de recobriment de buit. Pot escalfar el substrat i el material de recobriment per promoure la formació del recobriment i millorar la seva qualitat. El sistema de calefacció s’implementa generalment mitjançant filferro de resistència, calefacció electromagnètica, calefacció d’inducció i altres mètodes.
5. Font del recobriment
La font de recobriment és l’últim component de la màquina de recobriment de buit. S'utilitza per proporcionar el material que cal recobrir, normalment incloent metalls, ceràmica, silici i altres materials. La font de recobriment pot dipositar el material del substrat mitjançant feixos d’electrons, evaporació, escorcolls i altres mètodes per formar el recobriment requerit.
Resum: La màquina de recobriment de buit és un dispositiu que s’utilitza per fabricar recobriments d’alta qualitat, en què la cambra de buit, el sistema de bombes, el dispositiu de subjecció del substrat, el sistema de calefacció i la font de recobriment són els seus components. Aquests components treballen junts per completar el procés de preparació del recobriment.
