Principi de funcionament de la màquina de recobriment multi-arc

La màquina de recobriment multi-ARC genera plasma a alta temperatura a través de múltiples fonts d’arc (4-16), evapora el material metàl·lic i el diposita a la superfície del substrat per aconseguir un recobriment eficient (uniformitat de gruix de pel·lícula ± 5%). La seva cambra de buit central es divideix en una cambra de recobriment (grau de buit inferior o igual a 10^-3Pa) i una cambra de pretractament. El primer garanteix un entorn de baixa implantació i el segon s’utilitza per a la neteja i polit de substrats per millorar l’adhesió. Els paràmetres de procés clau inclouen la potència de la font d’arc (20-200A), la temperatura del substrat (100-300 graus) i la velocitat de deposició (1-10nm/s), que cal ajustar dinàmicament segons la forma del substrat (com ara superfícies corbes complexes) i material (metall/ceràmica). És adequat per a escenes com el film anti-reflexió de les lents òptiques i el recobriment dur.