El rendiment del segellat és un aspecte crucial en el disseny d'equips de recobriment al buit, ja que la seva qualitat afecta directament si es pot aconseguir el nivell de buit necessari per al recobriment durant el procés d'aspiració posterior. Si no es compleix aquest requisit, afectarà directament la formació i la qualitat de la pel·lícula. Per garantir un bon rendiment de segellat dels equips o sistemes de recobriment al buit, no és suficient localitzar i bloquejar les fuites després de la instal·lació. És necessari realitzar la detecció de fuites al buit en totes les etapes del disseny, fabricació, posada en marxa i ús de l'equip o sistema de recobriment al buit.
Consideracions de disseny perMàquina de recobriment al buit
1. Determineu la taxa de fuites màxima total admissible de l'equip de buit en funció dels requisits del procés i, a continuació, determineu la taxa de fuites màxima admissible de cada component en funció d'aquesta taxa de fuites total.
2. A partir de la taxa de fuites màxima admissible i altres indicadors de l'equip, determineu prèviament els mètodes de detecció de fuites que s'utilitzaran durant la fase de disseny i utilitzeu-lo com un dels principis bàsics que guien la posada en marxa i l'acceptació.
3. A partir dels indicadors de velocitat de fuites màxims permesos dels equips o components, determineu els mètodes de segellat i connexió i la precisió general de mecanitzat de l'equip, així com quin tipus de segellat dinàmic pot complir els requisits. Per exemple, si s'utilitzen segells metàl·lics o segells de goma per a les brides.
4. Quan dissenyeu la resistència estructural del recipient, tingueu en compte la resistència a la pressió i la resistència estructural requerides per al component provat si s'utilitza un mètode de detecció de fuites de pressió.
5. Quan seleccioneu materials estructurals per als components, tingueu en compte si s'utilitzen materials que es puguin corroir i danyar pel medi de treball i el gas de prova-de fuites.
6. Durant el disseny de l'estructura, s'han de proporcionar les interfícies de recanvi necessàries per als instruments de detecció de fuites al contenidor o sistema per utilitzar-les durant el muntatge i la posada en marxa de l'equip. Especialment per a sistemes de canonades grans i complexos, sovint es requereixen mètodes de detecció de fuites segmentats; per tant, s'han d'instal·lar vàlvules d'aïllament segmentades a la canonada i les interfícies d'instruments de detecció de fuites s'han de reservar a cada segment d'aïllament.
7. A l'hora de dissenyar els components estructurals, eviteu els esquemes de disseny que puguin interferir amb la detecció de fuites. Per exemple, els forats cecs no s'han d'utilitzar per als forats del cargol a la cambra de buit, ja que després d'instal·lar el cargol, el gas de l'espai restant dins del forat del cargol només pot escapar a través del buit del fil, formant una fuita falsa. Això allarga el temps d'evacuació del sistema i interfereix amb la detecció normal de fuites. Consulteu el diagrama per a les estructures que no haurien d'aparèixer en la detecció de fuites al buit.
8. De la mateixa manera, en el disseny estructural no es permeten les soldadures contínues de doble cara i les estructures d'anells de segellat de múltiples-capes, ja que crearan un "volum paràsit" al mig, provocant que el gas que hi hagi a l'interior es fugi. A més, quan les soldadures interiors i exteriors o els anells de segellat es filtren simultàniament, el "volum paràsit" fa que el temps de resposta del gas amb fuites passi a través de la soldadura de doble-capa massa llarg, cosa que fa impossible la detecció normal de fuites.
9. En el disseny d'estructures soldades, minimitzar el nombre de soldadures que no es puguin detectar per fuites després del muntatge final.
Els punts anteriors són precaucions per a la detecció de fuites en equips de recobriment al buit. La qualitat del rendiment del segellat determina directament si l'equip pot ser acceptat amb èxit i si la seva qualitat compleix els estàndards.
