Els passos de funcionament de la màquina de recobriment òptic inclouen diversos enllaços. A continuació, es mostren els passos de funcionament detallats:
1. Preparació preliminar
Comproveu l'estat de la màquina:
Comproveu si la màquina de recobriment òptic es troba en estat de treball normal, incloent si la font d’alimentació, la font de gas, el sistema de refrigeració, etc. són normals.
Retireu les deixalles dins i al voltant de la màquina, especialment el residu de material d’evaporació, per assegurar un entorn de treball net.
Preparació de material:
Seleccioneu lents òptiques d’alta qualitat o altres materials que s’han de recobrir.
Prepareu materials d’evaporació, com ara objectius metàl·lics, per assegurar -vos que la puresa i la qualitat dels materials compleixin els requisits.
Preparació d’equips:
Prepareu equips de recobriment necessaris, com ara calibres de gruix de la pel·lícula de buit, bombes de buit i fonts d’ions.
Comproveu si l’equip està intacte per assegurar -vos que pot funcionar normalment.
Preparació ambiental:
Assegureu -vos que la cambra de recobriment estigui ben tancada i que no hi hagi fuites d’aire.
Prepareu eines de neteja com netejar líquids i aigua desionitzada, així com mòlta, descontaminació i altres eines.
2. Pretractament del recobriment
Polit:
Poliseu finament la lent òptica per eliminar minúscules depressions i impureses a la superfície.
Neteja:
Utilitzeu equips especials de neteja de líquids i ultrasons per netejar la lent òptica per garantir que la superfície estigui neta.
Després de la neteja, esbandiu amb aigua desionitzada per eliminar el líquid de neteja residual.
Calefacció al buit:
Poseu la lent netejada a la cambra de buit i escalfeu la lent per calefacció elèctrica.
El gas adsorbit a la superfície s’evapora i s’allunya per assegurar la neteja de l’entorn de recobriment.
3. Funcionament de recobriment
Estableix paràmetres de procés:
Segons els requisits de recobriment, establiu paràmetres adequats del procés com la temperatura d’evaporació, la taxa d’evaporació, el grau de buit, etc.
Procés d’evaporació:
Afegiu material d’evaporació a la font d’evaporació, com el filament de tungstè.
Enceneu la font d’evaporació, realitzeu el procés d’evaporació i allibereu àtoms actius.
Dipòsit de pel·lícules:
Utilitzeu fonts d’energia com fonts d’ions o bigues d’electrons a la cambra de buit per dipositar els àtoms o molècules evaporades a la superfície de la lent.
Durant el procés de deposició, s’utilitza un calibre de gruix de la pel·lícula de buit per controlar el gruix de la pel·lícula en temps real per assegurar -se que es compleixen els requisits predeterminats.
Calefacció auxiliar:
Durant el procés de deposició, pot ser necessari utilitzar la tecnologia de calefacció auxiliar per escalfar la superfície del substrat a la temperatura d’auto-condensació de la capa de pel·lícula, que és propici per a la condensació i solidificació de la capa de pel·lícula.
4. Tractament després del recobriment
Refredament:
Quan finalitzi el procés de recobriment, desactiveu les fonts d’energia com la font d’evaporació i la font d’ions.
Deixeu que la cambra de buit es refredi de forma natural a temperatura ambient o utilitzeu el refredament forçat per accelerar el procés de refrigeració.
Traieu la peça:
Després que la pressió de l’aire a la cambra de buit torni a la pressió normal, obriu la porta de la cambra de buit i traieu la lent recoberta.
Neteja i inspecció:
Netegeu la lent recoberta per eliminar les impureses que puguin romandre a la superfície.
Comproveu la qualitat del recobriment, inclòs si el gruix de la pel·lícula, la uniformitat, el rendiment òptic, etc. compleixen els requisits.
5. Manteniment i cura
Netegeu la cambra de reacció:
Netegeu regularment l’interior de la cambra de reacció i components com la placa de calefacció per eliminar els materials i les impureses d’evaporació residuals.
Substitució de peces:
Segons l’ús de l’equip, substituïu regularment les parts per un desgast greu, com ara font d’evaporació, font d’ions, etc.
Manteniment:
Realitzeu un manteniment complet dels equips, incloent comprovar si la font d'alimentació, la font de gas, el sistema de refrigeració, etc. funcionen correctament.
Calibrar i depurar l’equip regularment per assegurar la precisió i l’estabilitat del recobriment.
Els anteriors són els passos de funcionament bàsics de la màquina de recobriment òptic. Les màquines de recobriment òptiques de diferents models i especificacions poden tenir operacions específiques diferents. Per tant, en el procés de funcionament real, s’ha de seguir estrictament el manual d’equips i s’hauria d’observar les regulacions de seguretat i els procediments operatius rellevants.
