Màquina de recobriment al buitprincipalment es refereix a un tipus de recobriment que s'ha de realitzar sota un grau de buit relativament elevat, incloent molts tipus, com ara l'evaporació d'ions al buit, la catòdica de magnetrons, l'epitaxia de feix molecular MBE, la deposició per pulverització làser PLD, etc.
El procés de color degradat generalment utilitza equips de recobriment de magnetrons. Actualment, les carcasses de color degradat de molts models de telèfons mòbils com Huawei i Lenovo utilitzen el procés de recobriment de gradient al buit PVD.
La pulverització de magnetrons és un tipus de deposició física de vapor (Physical Vapor Deposition, PVD). El mètode general de pulverització es pot utilitzar per preparar metalls, semiconductors, aïllants i altres materials, i té els avantatges d'un equip senzill, un control fàcil, una gran àrea de recobriment i una forta adhesió.
El mètode de pulverització de magnetrons desenvolupat a la dècada de 1970 ha aconseguit alta velocitat, baixa temperatura i baix dany. Com que la polverització catòlica d'alta-velocitat es realitza a baixa pressió, la taxa d'ionització del gas s'ha d'augmentar de manera efectiva. La pulverització de magnetrons introdueix un camp magnètic a la superfície del càtode objectiu i utilitza el camp magnètic per restringir les partícules carregades per augmentar la densitat del plasma per augmentar la velocitat de pulverització.
La màquina de recobriment al buit amb magnetrons és l'equip més utilitzat per recobrir productes existents en condicions de buit. Una màquina completa de recobriment al buit amb magnetrons es compon de diverses parts del sistema. Cada sistema pot completar diferents funcions per aconseguir el recobriment final-d'alta qualitat. Els components del recobriment de polverització de magnetron inclouen cambra de buit, bomba mecànica, sistema de prova de buit, bomba de difusió d'oli, sistema de buit, bomba de condensació, sistema de control de formació de pel·lícules, etc.
El cos principal de la màquina de recobriment al buit amb magnetrons és la cambra de buit. La mida de la cambra de buit ve determinada pels productes processats. Es pot personalitzar la mida del recobriment de polverització de magnetrons. La cambra generalment està feta d'acer inoxidable i cal que sigui resistent, duradora i lliure d'òxid-. La cambra de buit del recobriment de magnetró té moltes vàlvules de connexió per connectar diverses bombes auxiliars.
El sistema de control de formació de pel·lícules de revestiment de magnetrons pot adoptar diferents mètodes, com ara el temps de revestiment fix, la inspecció visual, el seguiment extrem i el control de la vibració del cristall. Les màquines de recobriment al buit i els mètodes de recobriment de màquines de recobriment al buit també es divideixen en diversos processos. Els que s'utilitzen habitualment inclouen el recobriment d'evaporació iònica i el recobriment de magnetró. La capa de pel·lícula xapada per polverització de magnetró té una forta adhesió i una gran puresa, i pot polver una varietat de materials amb diferents composicions alhora.
