La màquina de recobriment al buit òptic consta d'un sistema de buit, un sistema d'evaporació, un sistema de refrigeració i un sistema elèctric. El sistema de buit consta d'un dipòsit de buit i un sistema d'escapament. El dipòsit de buit és el cos principal de la màquina de recobriment i el procés de recobriment es completa al dipòsit de buit. El dipòsit de buit i el sistema d'escapament estan connectats per una vàlvula de connexió. Per tal d'evitar la influència de les molècules d'aire sobre els ions pulverulats i millorar la qualitat de la capa de pel·lícula, els components òptics i la font d'ions s'han de col·locar en un entorn de buit durant el funcionament.
El sistema d'escapament consisteix principalment en una bomba mecànica, una bomba Roots i una bomba de buit, que s'encarrega d'esgotar el gas del dipòsit de buit i de formar un ambient de buit al dipòsit. El sistema d'evaporació es refereix principalment al dispositiu de formació de pel·lícules. Hi ha molts tipus de dispositius de formació de pel·lícules a la màquina de recobriment, com ara l'escalfament per resistència, l'evaporació de canó d'electrons, la catòfora de magnetrons, la catòfora de radiofreqüència, el revestiment d'ions, etc.
Les màquines de recobriment òptic al buit apliquen pel·lícules primes als components òptics mitjançant la pulverització al buit, modificant la reflectivitat i la transmitància de la llum incident. Per minimitzar les pèrdues de reflexió a la superfície del component i millorar la qualitat de la imatge, sovint s'apliquen diverses capes de pel·lícules primes. Després de recobrir un component òptic, la llum es reflecteix i es transmet diverses vegades a la superfície de la pel·lícula multicapa, formant múltiples feixos d'interferència. Controlant el gruix i l'índex de refracció de les capes de pel·lícula, es poden aconseguir distribucions d'intensitat variables. Aquest principi es pot utilitzar per fabricar pel·lícules reflectants polaritzants, pel·lícules de divisió de color, pel·lícules de llum freda i filtres d'interferència per satisfer necessitats més complexes.
