Equips de recobriment al buitsovint es troba amb situacions inesperades durant el funcionament, com ara talls d'aigua, talls de corrent i fuites d'aire. Quan s'enfronten a aquestes situacions, els operadors poden estar perduts i no estar segurs de com gestionar-les. A continuació, Puyuan Vacuum proporcionarà un pla d'emergència detallat per al funcionament dels equips de recobriment al buit:
1. L'equip de recobriment PVD requereix neteja després d'un període de funcionament.
Després d'un període de funcionament, normalment de 50 a 70 cicles de forn, l'equip de recobriment PVD necessita neteja per eliminar la pols del forn. A continuació, feu funcionar el forn una vegada sense càrrega. El procediment consisteix primer en evacuar el forn a un nivell de buit superior a 10⁻² Pa, i després escalfar-lo a una temperatura generalment 20 graus superior a la temperatura de funcionament normal. Mantingueu aquesta temperatura al nivell més alt possible durant almenys una hora, després deixeu-la refredar de manera natural. Aquest procés manté net l'espai intern de l'equip de recobriment al buit.
2. Substitució de la bombona de gas
Quan cal substituir el cilindre de gas utilitzat en l'equip de recobriment al buit, traieu la vàlvula reguladora de pressió i substituïu-lo per un nou cilindre. Assegureu-vos que no hi hagi fuites durant la instal·lació. Després de substituir el cilindre, abans d'escalfar la peça de treball, el forn s'ha de purgar durant el procés d'evacuació per eliminar l'aire atrapat a la canonada durant la substitució del cilindre, mantenint neta la canonada de purga.
3. Apliqueu una petita quantitat d'oli lubricant a les peces giratòries.
Apliqueu una petita quantitat d'oli de la bomba de buit a les peces giratòries per a la lubricació. Assegureu-vos que la bomba de buit estigui neta, lliure de ferro, sorra i pols. Assegureu-vos un bon contacte en el sistema de posicionament. La bomba de buit ha de girar fàcilment sense desnivells ni obstruccions greus.
4. S'ha detectat una fuita d'aire sobtada durant el funcionament normal
Si es detecta una fuita d'aire sobtada durant el funcionament normal i el punt de fuita es pot localitzar immediatament, s'ha de segellar amb un segellador al buit. Es poden fer més reparacions un cop finalitzada l'obra actual. Si no es pot localitzar la fuita, el treball s'ha d'aturar immediatament i s'han de fer reparacions.
5. Talls d'aigua i electricitat durant altes temperatures
Els equips de buit són els més vulnerables als talls d'aigua i de llum durant les altes temperatures. Per tant, els usuaris haurien d'instal·lar idealment un dipòsit d'aigua de reserva o connectar-lo a un subministrament d'aigua de l'aixeta durant la instal·lació de l'equip. Si l'equip experimenta un tall d'aigua o electricitat durant les altes temperatures, totes les bombes i vàlvules s'han de tancar. Els operadors haurien de connectar immediatament el subministrament d'aigua de reserva o l'aigua de l'aixeta per refredar l'equip amb aigua-. Si l'energia no es pot restablir ràpidament, s'ha d'obrir la vàlvula d'inflat manual del sistema d'inflat/desinflat per inflar l'equip per protegir-lo, amb una pressió d'inflat d'aproximadament -0,02 MPa. A continuació, gireu tots els botons de l'armari de control a la posició "apagat". Simultàniament, apliqueu una tovallola humida a la interfície de sortida de l'elèctrode i substituïu-la regularment per evitar el sobreescalfament de la interfície de l'elèctrode i danyar l'anell de segellat.
Com a enginyer que treballa amb equips de recobriment al buit, és essencial dominar els plans de resposta d'emergència. Durant l'operació poden sorgir situacions inesperades i la intervenció oportuna és crucial per evitar pèrdues innecessàries.
